供应ExtorrXT100残余气体分析仪RGA-四极质谱

型号/规格：

XT100

品牌/商标：

Extorr

使用真空分析侦控仪器--RGA(残余气体分析仪器)-四*杆质谱仪，逐渐形成一股趋势，在制程技术层次不断*，复杂度不断增加，单片成本*的多种因素考量下，要维持*，高良率及高机台使用效益，才能更增加本身的竞争优势。而残余气体分析仪，则是一种*有用的工具之一。美国EXTORR残余气体分析仪特点及应用：•操作简单•*，方便•在线原位分析真空环境及工艺气体•定性或定量分析监测溅射镀膜反应工艺过程中真空室内的气体分压强•优化工艺过程参数，*镀膜产品质量•对真空系统检漏在工艺中的效果•*质量•*流片量•减少停机时间•改进工艺•缩小工艺周期•降*规格：测量气体范围XT100（M）XT200（M）XT300（M）1到100amu1到200amu1到300amu检测类型法拉第杯（FC）或电子*器（EM）灵敏度（A/mbar）5×10-4torr，法拉第杯，氮28,10%峰高分辨率1amu，10%峰高可检分压强10-11torr或10-14torr（电子*器），氮28，10%峰高工作范围10-4torr到*真空工作环境温度40°C烘