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什么是超精密气浮定位工作台技:气浮系统动力学与控制？

2023-06-11  |  来源：互联网 156浏览

超精密气浮定位工作台技:气浮系统动力学与控制62本书的主要内容包括:超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术;超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算的理论与方法;超精密气浮

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