超高纯锗烷_硅烷气体哪里买_重庆凯益特种气体有限公司

超高纯锗烷_硅烷气体哪里买_重庆凯益特种气体有限公司锗烷是一种无色、有毒的易燃气体，带有刺激性气味。其可在空气中自发燃烧。它可与氢、氩、氦、氮相互兼容，经常与这些气体混合运送。锗烷被用于外延硅和非晶硅、锗、合金的沉积，且作为(Si,Ge)02薄膜等离子体增强化学汽相沉积的一种成分，为光电子的应用提供了可控的折射率。通常以游离气体而非自身压力下的液化气体进行运送。锗烷成分电子等级纯度*少99.999%(不包括乙锗烷和氢气)二氧化碳<2ppm一氧化碳<1ppm氢气<50ppm氮气<2ppm氧气氩气<0.5ppm总碳氢化合物(如，甲烷)<1ppm三锗烷<1ppm保存期限:1年分子量76.64空气中的可燃度*限自燃的气体在1个标准大气压（空气=1）和70cF(21.1°C)温度下的比重2.65气体在1个标准大气压和70cF(21.1°C)温度下的密度0.198lbs/ft3(3.17g/l)气体在1个标准大气压和70cF(21.1°C)温度下的比容5.05ft3/lb(0.315l/g)在75.1磅/平方英尺(518kPa)气压的熔点-266.6℉(-165.9°C)在1个标准大气压的沸点-127℉(-88.4°C)临界温度94.7℉(34.8°C)临界压力805.3磅/平方英尺(55.5bar)毒性时间加权平均阈限值>0.2ppm半数致死浓度50ppm